特許

J-GLOBAL ID：200903093856175565

歪みセンサおよびその製造方法

発明者： 新房 邦夫
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308408
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114153
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 歪みセンサの金属基材の弾性領域での歪みの範囲を広くし、且つ残留歪みを少なくして検出範囲と検出精度を高める。【解決手段】 歪みセンサ1の金属基材2として、Moを含む二相系ステンレス鋼を使用する。金属基材2に絶縁層3および電極4と抵抗体5とを焼成して形成する際に、焼成の熱処理によりステンレス鋼のアルファ相がシグマ相に転移し、弾性領域の範囲内で印加可能な歪みが広がり、また残留歪みも少なくなる。よって、歪みの検出範囲が広く、且つ原点への復帰性の良好な歪みセンサを得ることができる。

請求項（抜粋）：

金属基材と、前記金属基材の表面に形成され絶縁層と、前記絶縁層の表面に設けられた抵抗体と、前記抵抗体の両端に各々接続された電極と、を備えた歪みセンサにおいて、前記金属基材が、Crを16〜26質量%、Moを2〜6質量%含むステンレス鋼により形成されていることを特徴とする歪みセンサ。

IPC (5件)：

G01L 1/18 ,  C22C 38/00 302 ,  C22C 38/22 ,  C22C 38/44 ,  G01B 7/16

FI (5件)：

G01L 1/18 Z ,  C22C 38/00 302 X ,  C22C 38/22 ,  C22C 38/44 ,  G01B 7/18 G

Fターム (10件)：

2F063AA25 ,  2F063CA10 ,  2F063DA02 ,  2F063DD05 ,  2F063EC03 ,  2F063EC13 ,  2F063EC14 ,  2F063EC15 ,  2F063EC20 ,  2F063EC26