特許

J-GLOBAL ID：200903093856411560

超音波洗浄装置

発明者： 岡野 勝一
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325209
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138115
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：

【要約】【課題】 使用する洗浄液を大幅に低減して省液化を図ること。【解決手段】 基板20を複数のローラ27により矢印Xbで示す搬送方向に沿って通過させ、この基板20と振動プレート3との間に給液部材21から純水などの洗浄液23をXa方向に供給すると、基板20と振動プレート3との間に表面張力の作用により液膜ができ、この液膜を介して振動プレート3からの超音波が基板20へ伝達されて超音波洗浄が行われる。この液膜は表面張力を有するから基板20と振動プレート3との間以外には洗浄液23が漏れにくくなり使用液量を抑えることがで用により液膜ができ、この液膜を介して振動プレート3からの超音波が基板20へ伝達されて超音波洗浄が行われる。この液膜は表面張力を有するから基板20と振動プレート3との間以外には洗浄液23が漏れにくくなり使用液量を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

薄板長方形状の上側ケースと、この上側ケースの下部両側に配設してなる断面略コ字状でかつ長手状の中間ケースとからなるケースと、前記上側ケースと中間ケースとの間に介装された断面略凹状でかつ長手状の中間プレートと、前記中間プレートの凹部内に配設した超音波振動子と、前記超音波振動子と対向しかつ前記中間ケースの下方端部に固着してなる薄板長方形状の振動プレートとを備え、前記振動プレートは、その厚さが振動共振長λ/2を無視できる十分な薄膜で構成してなることを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/12 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B08B 3/12 A ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 N