レーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090468
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282024
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】微細な領域を高空間分解能で分析することができるレーザイオン化中性粒子質量分析装置および分析方法を提供する。【解決手段】パルス状のイオンビームを試料に照射して、試料から放出される中性粒子にレーザビームを照射して発生した光励起イオンを検出することによって、試料を分析するレーザイオン化中性粒子質量分析装置において、イオンビームがパルス的に照射される毎に、レーザビームが中性粒子に照射されるように同期させ、上記照射の周期を電源周波数もしくはその整数倍となるように制御する。

請求項（抜粋）：

パルス状のイオンビームを試料に照射し、上記試料から放出される中性粒子にレーザビームを照射し、発生した光励起イオンを検出し、上記試料を分析するレーザイオン化中性粒子質量分析装置において、上記イオンビームのビーム径を50nm未満にして上記試料に照射し、上記レーザイオン化中性粒子質量分析装置の電源周波数をレーザビームの繰り返し周波数とほぼ同じにすることを特徴とするレーザイオン化中性粒子質量分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , G01N 27/64 , H01J 49/10

FI (3件)：

G01N 23/225 , G01N 27/64 B , H01J 49/10

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