特許
J-GLOBAL ID:200903093863892884
プラズマリアクター
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 數彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-322502
公開番号(公開出願番号):特開平5-136094
出願日: 1991年11月11日
公開日(公表日): 1993年06月01日
要約:
【要約】【目的】プラズマガスの利用効率と反応排ガスの除去効率とを高めたプラズマリアクターを提供する。【構成】ガス導入管(1)と真空系に連結されたガス排出管(2)とを備えた円筒状反応容器(3)、該反応容器の外周囲に密着配置された外部電極(4)及び前記反応容器の内部にこれと所定間隔を設けて同軸に配置され且つ側壁に多数の小孔を有する金属製円筒体(5)から主として構成される同軸給電方式のプラズマリアクター又はエッチトンネルを使用した対向電極型プラズマリアクターにおいて、前記のガス排出管(2)を金属製円筒体(5)の内側の位置に配置する。
請求項(抜粋):
ガス導入管と真空系に連結されたガス排出管とを備えた円筒状反応容器、該反応容器の外周囲に密着配置された外部電極および前記反応容器の内部にこれと所定間隔を設けて同軸に配置され且つ側壁に多数の小孔を有する金属製円筒体から主として構成される同軸給電方式のプラズマリアクター又はエッチトンネルを使用した対向電極型プラズマリアクターにおいて、前記のガス排出管を金属製円筒体の内側の位置に配置したことを特徴とするプラズマリアクター。
IPC (4件):
H01L 21/302
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平3-058412
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特開昭57-069744
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特開昭60-200531
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