特許

J-GLOBAL ID：200903093867669390

投影露光装置

発明者： 谷口 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313791
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153448
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 投影露光装置における照明光の光量が変化しても光電変換素子のダイナミックレンジを有効に利用して、結像特性を高精度に検出する。【解決手段】 光源1からの照明光ILのもとで、レチクルのパターンを投影光学系PLを介してウエハステージWST上のウエハWに転写する投影露光装置において、照明光ILのもとでレチクルRの計測用マークKMの投影像を基準板8を介して光電変換素子10で受光してその投影像の位置ずれ量から結像特性の変化を検出する。光源1とレチクルRとの間に可変NDフィルター3を配置し、光電変換素子10の直前に可変NDフィルター11を設け、可変NDフィルター3,11により光電変換素子10に入射する光量を光電変換素子10のダイナミックレンジ(有効測定範囲)に合わせて調節する。

請求項（抜粋）：

露光用の照明光のもとでマスク上の転写用のパターンの像を感光性の基板上に投影する投影光学系と、前記基板を前記投影光学系の光軸に垂直な平面内で移動する基板ステージとを有する投影露光装置において、前記露光用の照明光と同じ波長域の照明光のもとでマスク上の計測用マークの前記投影光学系を介した空間像を該空間像よりも計測方向に幅の広い開口部を介して受光する光電変換素子と、前記基板ステージを介して前記空間像と前記開口部とを計測方向に相対移動させたときに前記光電変換素子から出力される検出信号に基づいて前記投影光学系の結像特性を測定する測定手段と、前記光電変換素子への入射光量を前記光電変換素子の有効測定範囲に合わせて調整する光量調整手段と、を設けたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 516 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z ,  H01L 21/30 525 J ,  H01L 21/30 525 N ,  H01L 21/30 525 C