特許

J-GLOBAL ID：200903093872084650

欠陥検査装置

発明者： 神▲崎▼豊樹
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103946
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291093
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】 比較的微細ではないパターンを有する基板などの欠陥検査を、長時間にわたって高精度でしかも効率よく行うことができる欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 基準となるパターンを設定し、この基準パターンP1 に関する情報を光学的読み取り手段8によって読み込んでデータ記憶部10aに記憶しておき、検査対象パターンPに関する情報を光学的読み取り手段10aによって読み込み、検査対象パターンPに関するデータと基準パターンP1 に関するデータとの間に設定値を超える差があるとき、検査対象パターンPを表示装置11の画面11a上に表示するに際して、前記差のある部分に対応するパターン部分を、他のパターン部分に比べて目立つように表示するようにした。

請求項（抜粋）：

基準となるパターンを設定し、この基準パターンに関する情報を光学的読み取り手段によって読み込んでデータ記憶部に記憶しておき、検査対象パターンに関する情報を光学的読み取り手段によって読み込み、検査対象パターンに関するデータと基準パターンに関するデータとの間に設定値を超える差があるとき、検査対象パターンを表示装置の表示画面上に表示するに際して、前記差のある部分に対応するパターン部分を、他のパターン部分に比べて目立つように表示することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G06T 1/00 305 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  H01L 23/50

FI (7件)：

G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  H01L 23/50 A ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 G ,  G01B 11/24 F

Fターム (50件)：

2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC27 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP03 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR09 ,  2F065SS01 ,  2F065SS02 ,  2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AA62 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA14 ,  2G051FA04 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB01 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CC01 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32 ,  5F067AA12 ,  5F067AA19 ,  5F067DA00 ,  5F067DB10