特許

J-GLOBAL ID：200903093873109436

砥粒の水性分散媒組成物及びその切削液を用いるインゴットの切断方法

発明者： 原田 晴司 ,  大久保 一也 ,  横山 健三 ,  井川 章太郎
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社 ,  ユシロ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-257716
公開番号（公開出願番号）：特開平10-081872
出願日： 1996年09月05日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 非水溶性切削油を用いた場合における引火の危険性や、被切削材洗浄工程に伴う有機溶剤による人体への影響、大気汚染問題を解決し、大口径のシリコン単結晶インゴット等の切断においてもスライス後の物品の反り量、厚さばらつき(TTV)を低減することのできる砥粒の水性分散媒組成物及びその切削液を用いるインゴットの切断方法の提供。【解決手段】 無機ベントナイト0.1〜5重量%と、マグネシウムシリケートまたは/及びマグネシウムアルミニウムシリケート0.1〜5重量%を含有する水溶液であることを特徴とする砥粒の水性分散媒組成物。更に、これにカルボン酸を添加してpH値を7.0〜8.5に調整する。また要すれば、更に保水剤、湿潤剤、防錆剤、非鉄金属防食剤、有機系分散剤、消泡剤などを添加することができる。この水性分散媒組成物に砥粒を均一に分散せしめて切削液とし、この切削液を使用したワイヤソーやバンドソーによってシリコン単結晶等のインゴットを切断することにより、反りやTTVの低減したスライス品を効率よく得ることができる。

請求項（抜粋）：

無機ベントナイト0.1〜5重量%と、マグネシウムシリケートまたは/及びマグネシウムアルミニウムシリケート0.1〜5重量%を含有する水溶液であることを特徴とする砥粒の水性分散媒組成物。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  B28D 5/04

FI (2件)：

C09K 3/14 550 C ,  B28D 5/04 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-224237   出願人：信越半導体株式会社, 大智化学産業株式会社, 三益半導体工業株式会社
• 特開昭61-166893
  
• ガラス表面の撥水性シリコーン皮膜を除去するための組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070179   出願人：横浜油脂工業株式会社