特許

J-GLOBAL ID：200903093880497751

圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの制御方法

発明者： 渡辺 聖士 ,  佐藤 樹 ,  谷 和夫 ,  篠原 陽子
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-034199
公開番号（公開出願番号）：特開2002-238269
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】圧電アクチュエータの小型化、安定駆動化、さらには、駆動電力の効率的な使用を、圧電アクチュエータの構成と制御方法により実現すること。【解決手段】圧電アクチュエータは、第一電極部A15と、第一電極部A15に対応する第一分極部A21と、第一電極部B16と、第一電極部B16に対応する第一分極部B22と、第二電極部A17と、第二電極部A17に対応する第二分極部A23と、第二電極部B18と第二電極部B18に対応する第二分極部B24を有する屈曲層30と、第三電極部19と、第三電極部19に対応する第三分極部25を有する伸縮層29が積層した圧電体1からなり、屈曲層30と伸縮層29との間には、GND電極部20がある。さらに、駆動信号発生器5と第一電極部A15との間に第一切替部7を、駆動信号発生器5と第一電極部B16との間に第二切替部8を設ける。

請求項（抜粋）：

少なくとも二つの電極部と、前記少なくとも二つの電極部に対応した位置に分極部を有し、前記少なくとも二つの電極部に電圧が印加されることにより運動する少なくとも一つの圧電体と、前記圧電体と接触して駆動する移動体と、前記少なくとも二つの電極部へ電圧印加する駆動信号発生器を有する圧電アクチュエータにおいて、前記少なくとも二つの電極部への印加電圧の切断及び導通を切り替える切替部を、前記少なくとも二つの電極部と前記駆動信号発生器との間に備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

H02N 2/00 C ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 K

Fターム (8件)：

5H680AA06 ,  5H680BB02 ,  5H680CC02 ,  5H680DD15 ,  5H680DD23 ,  5H680DD35 ,  5H680DD39 ,  5H680EE12