特許
J-GLOBAL ID：200903093884860672
電気泳動研磨用研磨剤および電気泳動研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-004819
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202510
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、電気泳動現象を用いた電気泳動研磨に使用される電気泳動研磨用研磨剤および電気泳動研磨方法に関し、電気泳動で陰極に付着するダイヤモンド砥粒の粒径を従来より大幅に大きくすること、陰極に付着するダイヤモンド砥粒の厚みを従来より大幅に増大すること、および、導電性材料からなり陰極とされる被加工物を確実に研磨することを目的とする。【解決手段】 本発明の電気泳動研磨用研磨剤は、水にダイヤモンド砥粒および酸化アルミニウム微粒を混合してなることを特徴とする。また。本発明の電気泳動研磨方法は、上記電気泳動研磨用研磨剤中に、陰電極となる研磨工具および陽電極を浸漬するとともに、研磨工具および陽電極に電圧を印加し、研磨工具に酸化アルミニウム微粒とともにダイヤモンド砥粒を付着させ、このダイヤモンド砥粒の付着した研磨工具により被加工物の研磨を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
水にダイヤモンド砥粒および酸化アルミニウム微粒を混合してなることを特徴とする電気泳動研磨用研磨剤。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 Z
, C25F 3/16 D
