特許

J-GLOBAL ID：200903093886878579

蒸着装置及び蒸着源

発明者： 須志原 友和 ,  浮ケ谷 信貴 ,  曽田 岳彦 ,  小沼 恭英 ,  倉持 清 ,  中根 直広
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-282594
公開番号（公開出願番号）：特開2009-108375
出願日： 2007年10月31日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する際の大面積成膜における膜厚制御性に優れた蒸着源を提供する。【解決手段】真空チャンバー1内に複数の放出口11を備えた蒸着源10において、成膜材料を収容する坩堝14と複数の放出口11の間に分岐点14cを設け、分岐点14cより坩堝14側の供給流路14aにバルブ12を設ける。バルブ12から各放出口11までのコンダクタンスが均等になるように、分岐点14cから分岐流路14aを経てそれぞれの放出口11に至るまでの流路の長さを等しくする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸発した成膜材料を基板に成膜するための成膜室と、 前記成膜室に成膜材料の蒸気流を噴出するための複数の放出口と、 成膜材料を収容し、加熱して蒸発させる材料収容部と、 前記材料収容部の開口に接続され、前記材料収容部から供給される成膜材料の蒸気流の流量を調整するための流量調整手段を備えた供給流路と、 前記供給流路から前記複数の放出口にそれぞれ分岐する複数の分岐流路と、を有し、 前記流量調整手段から各放出口までのコンダクタンスが均等になるように、前記流量調整手段から前記分岐流路を経て前記複数の放出口に至るまでの配管の長さと配管径を設定したことを特徴とする蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (4件)：

C23C14/24 A ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (12件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC42 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  3K107GG36 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029DB06 ,  4K029DB12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 成膜源、真空成膜装置、有機ELパネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-243298   出願人：東北パイオニア株式会社

審査官引用 (5件)

• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-300838   出願人：日立造船株式会社
• プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-329923   出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
• 処理装置および処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-306437   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 真空蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-341304   出願人：日立造船株式会社
• 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-001770   出願人：ソニー株式会社