特許

J-GLOBAL ID：200903093895160265

熱形赤外線センサ

発明者： 滝浪 雅夫 ,  小松 清 ,  木村 光照
出願人/特許権者： テルモ株式会社 ,  木村 光照
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-074758
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264784
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 高い感度と精度を確保し、S/N比が改善され、かつ生産性に優れた小型化された熱形赤外線センサを提供する。【解決手段】 センサ基板と薄膜の赤外線受光部と該赤外線受光部と同一素材、形状の補償素子を有し、前記赤外線受光部および前記補償素子は前記センサ基板上に該センサ基板から熱分離されるように形成され、かつ1つ又は複数の蓋体により気密封止された熱形赤外線センサにおいて、前記蓋体の一部に赤外線の信号処理回路を有することを特徴とする熱形赤外線センサである。

請求項（抜粋）：

センサ基板と薄膜の赤外線受光部と該赤外線受光部と同一素材、形状の補償素子とを有し、前記赤外線受光部および前記補償素子は前記センサ基板上に該センサ基板から熱分離されるように形成され、かつ1つ又は複数の蓋体により気密封止された熱形赤外線センサにおいて、前記蓋体の一部に赤外線の信号処理回路を有することを特徴とする熱形赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/42 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/44

FI (3件)：

G01J 1/42 B ,  G01J 1/02 B ,  G01J 1/44 D