特許
J-GLOBAL ID：200903093900680965
STM探針保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196863
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040006
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】探針を、加工せずに容易に取り付けることができ、探針の先端を一定位置に再現することができる探針保持装置を提供する。【構成】探針を挿入する空隙部および該探針の軸方向に沿った割りとを有する探針保持部材と、該探針保持部材の割りの部分を締め付ける締め付け部材、からなる探針保持装置。
請求項（抜粋）：
探針を挿入する空隙部および該探針の軸方向に沿った割りとを有する探針保持部材と、該探針保持部材の割りの部分を締め付ける締め付け部材、からなる探針保持装置。
IPC (2件)：
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