静電容量型圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-232507
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063630
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】直線性を向上させた静電容量型圧力センサを提供する。【構成】シリコン基板より薄膜状の弾性変形部4によって角枠状の枠内中央に揺動自在にメサ部3を支持させたフレーム2をアルカリ異方性エッチングにより作成し、メサ部3の上面にn+層による可動電極7を形成する。別なシリコン基板よりカバー8を作成し、カバー8内面に窪み10及び窪み10の周辺部に窪み10よりも深い凹部16をRIE技術によって形成して、カバー8内面の四隅に矩形状の接合部8aと別な接合部8bとを形成する。また、カバー8内面には可動電極7と対向して固定電極12を形成して、フレーム1上にカバー8を重ね5箇所の接合部8a,8bを低温接合法により接合して圧力センサ1を作成する。

請求項（抜粋）：

弾性を有する検知部を検知基板に支持させて、前記検知基板の少なくとも一面に固定基板を接合し、前記検知部に設けた可動電極と対向させて前記固定基板の内面に固定電極を設けた静電容量型圧力センサにおいて、前記検知基板の前記検知部周辺の一部分を前記固定基板に接合し、前記検知基板の残る前記検知部の周辺部は前記固定基板との間に隙間が設けられていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。

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