特許

J-GLOBAL ID：200903093904868462

気化方法と該気化器並びに該気化方法を利用した気化装置

発明者： 小野 弘文
出願人/特許権者： 株式会社リンテック
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000799
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199067
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 (1)供給気化ガスに脈動が重畳する事なく定常状態での被供給部への供給が可能となるようにする事(2)難気化溶質を気化しやすい溶媒に分散させた液を液体原料とした場合でも溶質も溶媒と共に気化させて気化器内に溶質が残渣として残留しないようにする事(3)従って残渣による気化器の目詰の発生を防止して気化性能の低下による変動がないようにする事や気化器の寿命を大幅に長くする事(4)原料液体の供給量の正確な制御を可能にする事(5)原料液体の流量の任意な変更を可能にする事である。【解決手段】 液体原料供給側(1)から気化空間(2)に供給された液体原料(3)に超音波をかけて霧化し、霧化した液体原料を気化させ、被供給部(5)に気化原料(3b)を供給する」事を特徴とする。

請求項（抜粋）：

連通孔を通って液体原料供給側から気化空間に供給された液体原料に超音波をかけて霧化し、前記霧化した液体原料を気化空間にて気化させ、被供給部に前記気化原料を供給する事を特徴とする気化方法。

IPC (8件)：

C23C 16/448 ,  B05B 17/06 ,  H01L 21/31 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (5件)：

C23C 16/44 C ,  B05B 17/06 ,  H01L 21/31 B ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 29/78 371

Fターム (21件)：

4D074AA01 ,  4D074DD09 ,  4D074DD17 ,  4D074DD22 ,  4D074DD34 ,  4D074DD49 ,  4K030EA01 ,  5F001AA17 ,  5F001AG21 ,  5F045AC15 ,  5F045AC17 ,  5F045BB10 ,  5F045EE02 ,  5F045EE14 ,  5F045EE17 ,  5F083AD11 ,  5F083FR01 ,  5F083GA27 ,  5F083JA06 ,  5F083JA14 ,  5F083PR21