特許
J-GLOBAL ID：200903093907787692
誘電体共振器自動調整機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八幡 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-158838
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314461
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：
【要約】【課題】 研削加工下の円筒状誘電体共振器の測長を加工振動の影響を排除して行うことを可能とする。【解決手段】 ピストン上下駆動ユニット3によってピストンユニット2の上下方向の加工位置を設定したのち、圧縮空気8をシリンダ22の内部に導入しチャックユニット1に取り付けた誘電体共振器7を回転する研削テーブル41上に配設した研磨部材43に圧接して端面を研削する。変位計測ユニット5はレーザ送受光部51を介してパルスレーザビームLをピストン端面に送出しその反射光の受光タイミングとパルスレーザビームLの送出タイミングとの時間差に基づいてピストン端面までの距離変化を求めこれを研削加工下の誘電体共振器7の研削量としてその長さを知る。
請求項（抜粋）：
次の各構成を備え、円筒形状の誘電体共振器の中心軸方向の端面を研削して共振周波数の自動調整を行うことを特徴とする誘電体共振器自動調整機。(イ)研削すべき円筒形状の誘電体共振器の端面を垂直下方に向けて固着可能なチャックユニット(ロ)前記チャックユニットを結合して前記チャックユニットに上下方向の移動を与えるピストンと、このピストンを内接し外部から受ける流体圧により前記ピストンの上下移動を可能ならしめるシリンダとを有するピストンユニット(ハ)前記ピストンユニットの全体を上下方向に移動可能とし、前記ピストンユニットとともに前記チャックユニットに固着した前記誘電体共振器を端面研削のための所定の位置に占位せしめるピストン上下駆動ユニット(ニ)前記誘電体共振器の端面を研削すべき研磨部材を上面の所定の範囲に配設し、前記誘電体共振器と圧接せしめられた状態で回転可能な研削テーブルと、この研削テーブルを所定の回転速度で回転する研削モータとを有する研削ユニット(ホ)前記ピストンユニットのシリンダ上方に穿設した窓に嵌入固定されシリンダの内部の垂直方向にパルスレーザビームの送受光を行うレーザ送受光部と、このレーザ送受光部に対してレーザ出力光を送出するとともに、このレーザ出力光による前記ピストンからのレーザ反射光を受光し、前記レーザ出力光とレーザ反射光との送受光タイミング差に基づいて前記誘電体共振器研削前後の中心軸方向の変位を計測する変位計測ユニット(ヘ)前記誘電体共振器の位置決めを含む全体の動作の制御を行う制御ユニット
IPC (3件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
, G01B 11/00
B24B 37/04 D
, H01L 21/304 321 E
, G01B 11/00 A
