特許
J-GLOBAL ID：200903093909696112

立体形状微細中空構造体の製造方法

発明者：
秦 誠一

秦 誠一 について

, 
下河邉 明

下河邉 明 について


出願人/特許権者：
財団法人理工学振興会

財団法人理工学振興会 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-224058
公開番号（公開出願番号）：特開2004-058261
出願日： 2002年07月31日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】薄膜金属ガラスなど、加熱によって軟化する薄膜材料を用いて、多数個または集積した球面または曲面、多面体などの立体形状を持つ中空微細構造を提供する。【解決手段】基板上に加熱により軟化する薄膜を形成し、気体または気体発生剤が前記薄膜によって内包した内包部を持つ微細平面構造体を形成し、この微細平面構造体を薄膜の軟化点以上に加熱し、内包部に内包された気体の圧力または気体発生剤の発生する気体の圧力により、薄膜を変形させることによって内包部を膨張させて立体化した立体形状微細中空構造体を形成し、これを冷却し立体化された形状を固定することにより、立体形状微細中空構造体を製造する。なお、立体形状微細中空構造体を形成する工程においては、成形型を用いて薄膜の立体化を規制することができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板上に、加熱により軟化する薄膜によって気体を内包する微細中空部を形成する工程と、 前記微細中空部を形成した前記基板を前記薄膜の軟化点以上に加熱し、前記微細中空部に内包された前記気体の圧力により、前記薄膜を変形させ前記微細中空部を膨張させることによって立体形状の微細中空部を形成する工程と、 前記立体形状の微細中空部を形成した前記基板を冷却し固定する工程と を備えたことを特徴とする立体形状微細中空構造体の製造方法。
IPC (1件)：
B81C1/00
FI (1件)：
B81C1/00
引用特許：
審査官引用 (4件)
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