特許
J-GLOBAL ID：200903093910884291
反射屈折型光学系及び該光学系を備える投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333104
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181162
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 微細パターンを正確に結像する。【構成】 板状ビームスプリッター(3)と凹面鏡(5)とレンズ群(2、4、6)を備え、レチクル1の微細パターンをウエハ(9)上に結像する反射屈折光学系において、ビームスプリッターで生じるコマ収差及び歪曲収差を打ち消すコマ収差及び歪曲収差を発生するようレンズ群2のレンズ2aを光軸(AX)から所定量偏心させる。
請求項（抜粋）：
物平面側から順に、光軸対して傾いた平板状ビームスプリッターと凹面鏡を備えており、物平面からの光をビームスプリッターを介して凹面鏡で反射した後、再度ビームスプリッターを介して像平面に結像する反射屈折型光学系において、前記ビームスプリッターで生じるコマ収差と歪曲収差の少なくとも一方を補正することを特徴とする反射屈折型光学系。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 17/08
, G03B 27/32
