特許
J-GLOBAL ID:200903093920370563

サーマルチャンバー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-056329
公開番号(公開出願番号):特開平7-260210
出願日: 1994年03月25日
公開日(公表日): 1995年10月13日
要約:
【要約】【目的】 冷却装置の吹き出す雰囲気の攪拌を簡単かつ安価に実現でき、これにより、試験室内の温度分布をより高精度に均一化することができるサーマルチャンバーを提供すること。【構成】 計測等を行う試験室12内の雰囲気の温度調整を行う雰囲気調整室13には、試験室12から吸い込んだ雰囲気を冷却して雰囲気調整室13内に吹き出す冷却装置14と、該冷却装置14の吹き出した雰囲気に対して加熱を行う加熱装置16とが備えられてなるサーマルチャンバーにおいて、前記冷却装置14の吹き出し口を覆うとともに、前記冷却装置14の吹き出す雰囲気を雰囲気調整室13内の互いに異なる方向に向けて流出させる適宜数の吐出口19,20,21が装備されたフード15を装備した構成とする。
請求項(抜粋):
計測等に利用する空間を提供する試験室と、該試験室内の雰囲気を吸い込んで所定の温度調整をした後に前記試験室に戻すことにより前記試験室内の温度分布を均一化する雰囲気調整室とを有し、かつ、前記雰囲気調整室内には、該雰囲気調整室の入口寄りに設置されて前記試験室から吸い込んだ雰囲気を冷却して雰囲気調整室内に吹き出す冷却装置と、この冷却装置の下流に配置されて冷却装置から吹き出された雰囲気に対して所定の加熱処理を行う加熱装置とが備えられてなるサーマルチャンバーにおいて、前記冷却装置の吹き出し口側には、該冷却装置の吹き出し口を覆うとともに、前記冷却装置の吹き出す雰囲気を前記雰囲気調整室内の互いに異なる方向に向けて流出させる適宜数の吐出口が装備されたフードを備えたことを特徴とするサーマルチャンバー。
IPC (3件):
F24F 5/00 ,  B01L 1/00 ,  F24F 7/06

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