特許

J-GLOBAL ID：200903093924375802

固体撮像装置

発明者： 宮口 和久 ,  村木 哲彦
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230067
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077461
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 裏面より入射する光を検出するための高速動作可能なFT型CCD、または、FFT型CCDによる固体撮像装置を提供する。【構成】 このFT型CCDは光電変換部1、蓄積部2、出力部3からなる。単位画素11当たり平行に4つ並んで配設された電極によって垂直シフトレジスタが形成されている。この垂直シフトレジスタが光電変換部1と蓄積部2とを構成する。電極は電極の長手方向と平行に多数本配設され、この長手方向と垂直シフトレジスタの構成方向とは直交する関係にある。各電極には4相の電圧(P1〜P4)が加えられ、垂直シフトレジスタを制御する。出力部3は水平シフトレジスタとアンプ部31により構成されている。光電変換部1の表面部には、多結晶シリコンと金属シリサイドの2層構造を有する電極が配設され、光電変換部1は、この裏面より入射した光を検出する。

請求項（抜粋）：

フレーム転送型、または、フル・フレーム転送型のいずれか一方のCCDを備えた固体撮像装置であって、前記CCDの光電変換部における表面の転送電極は、多結晶シリコンに金属を、または、多結晶シリコンに金属シリサイドを裏打ちした構造により形成され、前記光電変換部の裏面より入射した光を検出することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/148 ,  H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁気浮上装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-172298   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平1-130568
  
• 特開平4-180265