プラズマ処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340168
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156043
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】放電管又はマイクロ波透過窓部材にシート部材を接触させて十分な冷却効率を確保すると共に、放電管又はマイクロ波透過窓部材とシート部材との熱融着や紫外線等によるシート部材の劣化を防止する。【解決手段】マイクロ波導波管10と放電管6との接続部において放電管6の周囲に配置された金属材料より成る金属部材14と、放電管6と金属部材14との間に周設された可撓性のシート部材12と、を備える。シート部材12は、放電管6に面する内周側及び金属部材14に面する外周側に配置された耐熱性材料より成る一対の耐熱層12a、12cと、一対の耐熱層12a、12cの間に配置された熱伝導性材料より成る熱伝導層12bと、を含む。

請求項（抜粋）：

誘電体で形成された放電管の内部にプロセスガスを導入し、前記放電管の内部の前記プロセスガスにマイクロ波導波管を介してマイクロ波を照射してプラズマを発生させ、前記プラズマ中の活性種を被処理物の表面に供給して処理を行うようにしたプラズマ処理装置において、前記マイクロ波導波管と前記放電管との接続部において前記放電管の周囲に配置された金属材料より成る金属部材と、前記放電管と前記金属部材との間に周設された可撓性のシート部材と、を備え、前記シート部材は、前記放電管に面する内周側及び前記金属部材に面する外周側に配置された耐熱性材料より成る一対の耐熱層と、前記一対の耐熱層の間に配置された熱伝導性材料より成る熱伝導層と、を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。

Fターム (9件)：

5F004AA16 , 5F004BA03 , 5F004BA20 , 5F004BB11 , 5F004BB18 , 5F004BC08 , 5F004DA01 , 5F004DA17 , 5F004DA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-300593 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社

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