特許
J-GLOBAL ID：200903093930502743
2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-192714
公開番号（公開出願番号）：特開2008-020701
出願日： 2006年07月13日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
【課題】 小型で動作の安定した2次元光スキャナを提供する。【解決手段】 共通基板と共通基板上に形成された反射膜とを有するミラー部と、共通基板とその下に接続された構造体とを含んで形成され、ミラー部を内包する開口を有する内部可動枠と、共通基板とその下に接続されたベース層とを含んで形成され、内部可動枠を内包する開口を有する支持体と、第1の軸上でミラー部を回動可能に支持する一対の第1のトーションバーと、第1のトーションバーに回動トルクを印加する第1の圧電振動板とを含み、ミラー部と内部可動枠とを連結する第1の連結部と、第1の軸と交差する第2の軸上で内部可動枠を回動可能に支持する一対の第2のトーションバーと、第2のトーションバーに回動トルクを印加する第2の圧電振動板とを含み、内部可動枠と支持体とを連結する第2の連結部とを有する2次元光スキャナを作製する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
共通基板と該共通基板上に形成された反射膜とを有するミラー部と、
前記共通基板とその下に接続された構造体とを含んで形成され、前記ミラー部を内包する開口を有する内部可動枠と、
前記共通基板とその下に接続されたベース層とを含んで形成され、前記内部可動枠を内包する開口を有する支持体と、
前記共通基板を含んで形成され、第1の軸上で前記ミラー部を回動可能に支持する一対の第1のトーションバーと、前記第1のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第1のトーションバーに回動トルクを印加する第1の圧電振動板とを含み、前記ミラー部と前記内部可動枠とを連結する第1の連結部と、
前記共通基板を含んで形成され、前記第1の軸と交差する第2の軸上で前記内部可動枠を回動可能に支持する一対の第2のトーションバーと、前記第2のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第2のトーションバーに回動トルクを印加する第2の圧電振動板とを含み、前記内部可動枠と前記支持体とを連結する第2の連結部と
を有する2次元光スキャナ。
IPC (4件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045AB73
, 2H045BA13
, 2H045CB65
, 2H045DA02
