特許
J-GLOBAL ID:200903093934393205

フィルターの欠陥検出装置及び欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 悦郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-376542
公開番号(公開出願番号):特開2001-165847
出願日: 1999年12月10日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 簡単かつ確実に欠陥を検出できるフィルターの欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 開口部を有するエアーチャンバーと、前記開口部を密閉するようにフィルターを配置するフィルター取付治具と、前記エアーチャンバーの内部と外部との間でフィルターを通過して気体が流通するようにエアーチャンバー内の圧力を増加又は減少させる差圧発生手段と、フィルターと流通気体との温度が異なるように加減する温度設定手段と、フィルターの表面温度分布を計測する温度検出手段とからなるフィルターの欠陥検出装置及び欠陥検出方法。1..エアーチャンバー、2..フィルター取付治具、3..差圧発生手段、4..温度設定手段、5..温度検出手段、10..フィルター
請求項(抜粋):
開口部を有するエアーチャンバーと、前記開口部を密閉するようにフィルターを配置するフィルター取付治具と、前記エアーチャンバーの内部と外部との間でフィルターを通過して気体が流通するようにエアーチャンバー内の圧力を増加又は減少させる差圧発生手段と、フィルターと流通気体との温度が異なるように加減する温度設定手段と、フィルターの表面温度分布を計測する温度検出手段とからなることを特徴とするフィルターの欠陥検出装置。

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