位置決め装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181544
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】被位置決め体を位置ずれすることなく高精度に位置決めできるとともに、この位置決め工程にかかる時間を抑制できる位置決め装置を提供する。【解決手段】位置決め装置1はマスクの位置を検出する観察手段とマスクを保持するステージを駆動する複数の駆動手段とこれらの駆動手段を制御する制御装置などを備えている。位置決め装置1はステップS1では観察手段が検出したマスクの位置に基いてマスクの位置ずれを算出する。ステップS2ではマスクすなわちステージの目標位置からの距離が各駆動手段の駆動終了時期の時間差が0.15秒以内となる第1の所定変位となる第2の所定変位を算出する。ステップS3では第2の所定変位に基いて各駆動手段それぞれを駆動する。ステップS4ではステージが停止するのを待つ。ステージS5では第1の所定変位に基いて各駆動手段それぞれを駆動する。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物を保持する被位置決め体と、この被位置決め体を互いに交差する方向に沿って移動する複数の駆動手段と、被位置決め体の位置を検出する位置検出手段と、前記駆動手段を制御する制御手段と、を備え、前記被位置決め体を目標位置に位置決めする位置決め装置において、前記制御手段が、予め、複数の駆動手段を互いの時間差が0.15秒以内の所定時間駆動した際に、被位置決め体が移動する第1の所定変位を記憶しており、位置検出手段が検出した被位置決め体の位置に基いて、被位置決め体の目標位置からの距離が前記第1の所定変位となり、かつ前記駆動手段のバックラッシュより大きな第2の所定変位を算出し、この第2の所定変位に基いて駆動手段をそれぞれ駆動した後、被位置決め体が目標位置に位置するよう前記第1の所定変位に基いて前記駆動手段それぞれを駆動することを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

G05D 3/00 , G05D 3/12 , H01L 21/027

FI (4件)：

G05D 3/00 Q , G05D 3/12 T , G05D 3/12 L , H01L 21/30 516 B

Fターム (23件)：

5F046EB01 , 5F046EB02 , 5F046ED01 , 5F046FA10 , 5F046FC03 , 5F046FC05 , 5H303AA06 , 5H303BB02 , 5H303BB08 , 5H303BB14 , 5H303DD01 , 5H303DD25 , 5H303EE03 , 5H303EE09 , 5H303FF06 , 5H303FF12 , 5H303FF13 , 5H303HH02 , 5H303HH09 , 5H303KK12 , 5H303LL03 , 5H303MM05 , 5H303QQ08

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