特許
J-GLOBAL ID:200903093946792652

超音波センサ及びそれを用いた超音波スペクトラム顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-161895
公開番号(公開出願番号):特開平5-010931
出願日: 1991年07月02日
公開日(公表日): 1993年01月19日
要約:
【要約】【目的】超音波センサの機械的な二次元走査及び機械的な傾動を伴わずに、被検体を二次元走査しつつ、反射波の検出角を可変にできる超音波スペクトラム顕微鏡を提供する。【構成】超音波センサ1は、アレイ型円筒トランスジューサ12とアレイ型平面トランスジューサ14とからなる送受独立型センサである。送波側の円筒トランスジューサ12の各圧電素子24aに印加される入力信号は入力信号処理回路34aにより、受波側の平面トランスジューサ14の各圧電素子24bの出力信号は出力信号処理回路34bにより、それぞれ時間差を与えられる。これにより超音波が送受波される時刻に時間ずれが生じる。この時間ずれを適宜に設定することにより、入射波を一点に集束させ、その反射波の位相を特定の方向へ揃えることができる。
請求項(抜粋):
第1と第2の送受波手段を備え、その一方が送波側として用いられ、高周波信号が印加されることにより被検体表面へ高周波超音波を送波し、他方が受波側として用いられ、被検体からの反射超音波を受波し、この反射超音波の強度に対応した電気信号を出力する送受独立型の超音波センサであって;第1の送受波手段は、複数の超音波圧電素子が、その各々が互いに独立して圧電効果を生起するように、等間隔にアレイ状に配列されてなる圧電素子群を有すると共に、この圧電素子群の発すべき高周波超音波を集束波とするように、上記アレイ状配列の配列方向を長手方向とする円筒面状の送受波面を有し;第2の送受波手段は、複数の超音波圧電素子が、その各々が互いに独立して圧電効果を生起するように、第1の送受波手段の圧電素子群のアレイ状配列方向に対して直交する方向へ等間隔にアレイ状に配列されてなる圧電素子群を有すると共に、この圧電素子群が発すべき高周波超音波を平面波とするように平面状の送受波面を有する;ことを特徴とする超音波センサ。
IPC (5件):
G01N 29/26 503 ,  G01B 17/02 ,  G01N 29/20 501 ,  G01N 29/24 501 ,  G01N 29/24 502

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