特許

J-GLOBAL ID：200903093949611535

ウエハ処理装置

発明者： 園田 治毅
出願人/特許権者： 島田理化工業株式会社
代理人 (1件)： 栂村 繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112628
公開番号（公開出願番号）：特開平8-283993
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ上に均等に処理液を流下させる。【構成】 下面を開放し、天板に処理液供給管と処理液リターン管を設けた箱形の上部カップと、上面を開放し、底壁の中央部にウエハを載置する孔を設けた昇降自在の下部カップとからなり、上部カップに上下面板で仕切った整流室を設け、下面板に多数の連通孔を設け、各連通孔間に上下面板を貫通する整流筒を多数設け、前記処理供給管を整流室と連通し、処理液供給管と処理液リターン管に夫々2方向バルブを設け、両2方向バルブを夫々反対である処理液供給管と処理液リターン管に接続管に接続したウエハ処理装置。

請求項（抜粋）：

下面を開放し、天板に処理液供給管と処理液リターン管を設けた箱形の上部カップと、上面を開放し、底壁の中央部にウエハを載置する孔を設けた昇降自在の下部カップとからなり、上部カップに上下面板で仕切った整流室を設け、下面板に多数の連通孔を設け、各連通孔間に上下面板を貫通する整流筒を多数設け、前記処理液供給管を整流室と連通したことを特徴とするウエハ処理装置。

IPC (4件)：

C25D 17/00 ,  C25D 5/08 ,  C25D 7/12 ,  C25D 21/10 301

FI (4件)：

C25D 17/00 J ,  C25D 5/08 ,  C25D 7/12 ,  C25D 21/10 301