特許

J-GLOBAL ID：200903093953258033

ロールコート用放射線感応性組成物

発明者： 薄田 謙二
出願人/特許権者： クラリアント インターナショナル リミテッド
代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347577
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186637
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ロールコート法により基板上に塗布した際に塗布ムラの発生しにくいロールコート用放射線感応性組成物を提供する。【解決手段】放射線感応性組成物の溶剤として、沸点が170〜250°Cで、25°Cでの動粘度が2cSt以上、酢酸-n-ブチルエステルの蒸発速度を100とした場合の相対蒸発速度が10以下であるプロピレングリコール系アルキルエーテルを少なくとも1種とそれ以外の溶剤からなる混合溶剤を用いる。前記プロピレングリコール系アルキルエーテルとしては、例えばプロピレングリコールフェニルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコール-n-ブチルエーテルなど、またその他の溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、などがあげられる。

請求項（抜粋）：

放射線感応性組成物の溶媒として、沸点が170〜250°Cで、25°Cでの動粘度が2cSt以上、酢酸-n-ブチルエステルの蒸発速度を100とした場合の相対蒸発速度が10以下であるプロピレングリコール系アルキルエーテルの少なくとも1種とその他の溶剤からなる混合溶剤を用いることを特徴とする、塗布性の改善されたロールコート用放射線感応性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  B05D 1/28 ,  B05D 7/24 301 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 501 ,  B05D 1/28 ,  B05D 7/24 301 T ,  H01L 21/30 502 R