特許
J-GLOBAL ID：200903093959295658
ワイアボンディング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-175486
公開番号（公開出願番号）：特開2002-368036
出願日： 2001年06月11日
公開日（公表日）： 2002年12月20日
要約：
【要約】【課題】 所望のワイアボンディングの精度を与えるワイアボンディング装置を提供する。【解決手段】 超音波ホーン2は、超音波A1及びA2がX方向の右から左に伝達する。対称部分21は、上下方向及び左右方向の対向する面が中心軸に関して対称に配置される。非対称部分22は、左右方向の対向する面が中心軸に関して対称に配置され、上下方向の対向する面が中心軸に関して非対称に配置される。非対称部分22の上面は、振動緩和部23を有する。振動緩和部23は、非対称部分22の右端部から長さL1の範囲であり、階段状のV型溝が多数形成される。階段状のV型溝は、90度の角度を有し、X軸又はY軸と平行な面が交互に配置される。
請求項（抜粋）：
超音波の進行方向に延びる超音波ホーンであって、対向する面が中心軸に関して対称に配置され一端で超音波振動子から超音波が印加される対称部分と、対向する面が中心軸に関して非対称に配置され一端が前記対称部分の他端に連続する非対称部分とを有する超音波ホーンと、前記非対称部分の他端部に保持されて被加工物に超音波を印加するキャピラリとを備えるワイアボンディング装置において、前記超音波ホーンに、超音波の進行方向と直交方向の振動成分を減少させる振動緩和部を形成したことを特徴とするワイアボンディング装置。
Fターム (1件)：
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