特許

J-GLOBAL ID：200903093960022789

フィルタ付き光導波路部品の製造方法

発明者： 大山 功 ,  植木 健 ,  清水 健男 ,  柳川 久治
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123815
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 フィルタ配置に要する作業時間が非常に短縮されたフィルタ付き光導波路部品の製造方法を提供する。【構成】 所定の光導波路パターンを有する複数個の光素子ユニットA1 ,A2,A3 ,A4 ,A5 ,A6 ,A7 ,A8 を、各光素子ユニットの端部の位置を互いに所定量だけずらした状態で1枚のウェハー1の上に並列して形成し、前記各光素子ユニットA1 ,A2 ,A3 ,A4 ,A5 ,A6 ,A7 ,A8 の光導波路の入出力ポートにおけるフィルタ配置の予定個所に前記入出力ポートの全てを横切るスリット2を刻設し、前記スリット2に1枚のフィルタ3を配置して前記フィルタ3の位置決めを行なったのち固定し、ついで、前記ウェハー1を切断して各光素子ユニットA1 ,A2 ,A3 ,A4 ,A5 ,A6 ,A7 ,A8 に分割するフィルタ付き光導波路部品の製造方法。

請求項（抜粋）：

所定の光導波路パターンを有する複数個の光素子ユニットを、各光素子ユニットの端部の位置を互いに所定量だけずらした状態で1枚のウェハーの上に並列して形成し、前記各光素子ユニットの光導波路の入出力ポートにおけるフィルタ配置の予定個所に前記入出力ポートの全てを横切るスリットを刻設し、前記スリットに1枚のフィルタを配置して前記フィルタの位置決めを行なったのち固定し、ついで、前記ウェハーを切断して各光素子ユニットに分割することを特徴とするフィルタ付き光導波路部品の製造方法。