特許

J-GLOBAL ID：200903093961553460

ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体

発明者： 赤堀 聡彦 ,  立木 繁雄 ,  廣 昌彦
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-168206
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019479
出願日： 1991年07月09日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 光感度、安定性、現像裕度などの性能に優れ、高解像度のレジストパターンを形成しうるポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性積層体を提供すること。【構成】 分子内にカルボン酸のテトラヒドロピラニルエステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物及び該組成物の層を基材上に積層してなる感光性積層体。【効果】 この感光性樹脂組成物は、有機溶媒に対する溶解性及び他の樹脂との相溶性に優れ、光感度、安定性、現像裕度等の性能に優れ、高解像度のレジストパターンを形成することができる。

請求項（抜粋）：

分子内にカルボン酸のテトラヒドロピラニルエステル構造を有する化合物及び活性光線の照射により酸を生成する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027