特許

J-GLOBAL ID：200903093970074310

ハードディスク外観検査装置

発明者： 河原 洋
出願人/特許権者： 株式会社小野測器
代理人 (1件)： 山田 正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111254
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、コンピュータの記憶媒体として用いられるハードディスクの外観を検査する外観検査装置に関し、実用的なハードディスク外観検査装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源11から発せられたレーザ光11aの発光光量を検出する第1の光検出器13と、レーザ光源11から発せられハードディスク1で反射した光のうち0次光を除く回折散乱光を、ハードディスクのテクスチャによる回折光と、そのテクスチャによる回折光の回折方向とは異なる方向に回折散乱した回折散乱光とに分けて検出する第2の光検出器14と、レーザ光源11から発せられハードディスク1で反射した光のうちの0次光の光量と0次光の反射方向の変化を検出する第3の光検出器15とを備えた。

請求項（抜粋）：

ハードディスクの外観を検査するハードディスク外観検査装置において、ハードディスク表面に斜めに照射されるレーザ光を発するレーザ光源と、前記レーザ光源から発せられたレーザ光の発光光量を検出する第1の光検出器と、前記レーザ光源から発せられハードディスクで反射した光のうち0次光を除く回折散乱光を、ハードディスクのテクスチャによる回折光と、該テクスチャによる回折光の回折方向とは異なる方向に回折散乱した回折散乱光とに分けて検出する第2の光検出器と、前記レーザ光源から発せられハードディスクで反射した光のうちの0次光の光量と該0次光の反射方向の変化を検出する第3の光検出器と、前記第1、第2および第3の光検出器で得られた信号に基づいてハードディスクの外観の良否を判定する外観良否判定部とを備えたことを特徴とするハードディスク外観検査装置。