特許

J-GLOBAL ID：200903093972204297

照明光学系

発明者： 堀川 嘉明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298177
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160200
出願日： 1994年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 小型にでき、しかもコヒーレンス度を低下させて照明できる照明光学系を提供する。【構成】 発光面積の小さい発散型の光源11と、異なる角度で配列された複数の鏡面を有し、光源11からの光を反射させる反射鏡13とを有し、これにより単一の光源11から複数の光源が存在する状態を作り出すようにする。

請求項（抜粋）：

発光面積の小さい発散型の光源と、異なる角度で配列された複数の鏡面を有し、前記光源からの光を反射させる反射鏡とを有することを特徴とする照明光学系。

IPC (6件)：

G21K 5/02 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 531 A