特許
J-GLOBAL ID：200903093977926711
磁気シールド解析手法、磁気シールド解析プログラム及び荷電粒子線露光装置の設計手法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-234475
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079603
出願日： 2002年08月12日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】磁場に対し荷電粒子線露光装置の光路内の磁場を保つための磁気シールド解析方法を提供する。【解決手段】解析の対象領域を複数のサブ領域4〜5に分割し、サブ領域の磁界の初期状態を設定するステップS0と、サブ領域間の相関関係を持たせてサブ領域の磁界の境界条件をクーロン及びビオ・サバールの方程式による積分方程式法により求めるステップS3と、この境界条件からマクッスウェルの方程式による有限要素法により各サブ領域内の磁界の状態を求めるステップS1と、各サブ領域内の磁界状態の収束判定をするステップS2により、磁場強さが異なる要素が多数存在する大型装置の磁気シールドの解析を高精度に且つ高速に行う。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
解析の対象領域を複数のサブ領域に分割し、
前記サブ領域の磁界の初期状態を設定するステップと、
前記初期状態から積分方程式を用いて解くことにより前記サブ領域間の相関関係を持たせて前記サブ領域の磁界の境界条件を求めるステップと、
前記サブ領域ごとに、前記境界条件を用いて有限要素法により前記サブ領域内の磁界の状態を求めるステップとから構成される磁気シールド解析手法。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, H01J37/16
, H01J37/305
H01L21/30 541Z
, G03F7/20 504
, G03F7/20 521
, H01J37/16
, H01J37/305 B
2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C034BB10
, 5F056AA22
, 5F056CB40
, 5F056EA12
, 5F056EA13
, 5F056FA03
, 5F056FA04
