特許

J-GLOBAL ID：200903093985422234

照明装置、これを備えた投影露光装置、及び半導体装置の製造方法

発明者： 塩澤 崇永
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-160510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354409
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 露光面における照度ムラを小さく抑えて均一な照度分布を達成し、要求される精緻な微細加工に十分に対応する。【解決手段】 ステッパーの構成要素である各種光学系に加え、補正光学系10を設ける。例えば、部屋10bの窒素を一部酸素に置換すると、部屋10bを光束が通過することにより光吸収が発生する。部屋10bを通過する際の光束La,Lb,Lcの距離はLa<Lb<Lcであるため、各々吸収される量に差異が生じ、補正光学系10の光射出面での照度分布は右肩下がりの分布になる。この性質を利用し、被照射面であるウェハ13表面の照度ムラが相殺されるように補正光学系10の酸素濃度や光源1の波長を変化させ、均一な照度分布を得る。

請求項（抜粋）：

照明光を被照射面に照射する照明装置において、前記照明光の通過する位置によって光路長が異なる密閉空間を有しており、前記密閉空間内の流体を構成する物質の状態を変化させることによって、前記被照射面上の照度分布を調整することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 502