特許

J-GLOBAL ID：200903093988211170

熱圧着装置と熱圧着方法

発明者： 佐藤 文一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218955
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074214
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 半導体装置のリード接続等に利用する熱圧着装置と熱圧着方法に関し、圧着の信頼性,確実性の向上を目的とする。【構成】 軸心が同一水平面である二対の回動自在軸22と23により熱圧着用ステージ21がX方向,Y方向に揺動自在であり、ステージ21に搭載した被圧着体の被圧着面が、該水平面内に位置するように装置構成する。圧着開始前のステージ21の姿態を規制するストッパーを設ける。被圧着体に圧着体を押圧する圧着駆動源には粗動源と微動源とを設け、圧着に必要な圧力を該微動源により付与せしめる。被圧着体より垂下するピンの貫通孔をセラミックキャリアに設け、圧着時には、ステージ21に設けた金属板にピンの先端を当接せしめる。

請求項（抜粋）：

X軸方向に対向する第1の一対の回動自在軸(22)、Y軸方向に対向する第2の一対の回動自在軸(23)、該第1または第2の一対の回動自在軸の一方に支持された熱圧着用ステージ(21)、該第1または第2の一対の回動自在軸の他方に支持された揺動板(27)、該揺動板に装着し該一方の一対の回動自在軸を支持する支持具(29)を具え、中心軸線が同一水平面内に位置するように該第1および第2の一対の回動自在軸を配設し、該ステージの上面に搭載した被圧着体(3) の被圧着面が該回動自在軸の中心軸を含む水平面とほぼ揃うように構成したこと、を特徴とする熱圧着装置。