特許
J-GLOBAL ID:200903093989438798
粒子検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡田 敬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-304356
公開番号(公開出願番号):特開平9-145595
出願日: 1995年11月22日
公開日(公表日): 1997年06月06日
要約:
【要約】【課題】 異なる所望の粒子径の粒子を簡単な受光手段で検出できる粒子検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 粒子に光を照射して生じた回折光を同心円で囲まれる領域に光取出部7aが設けられた遮蔽部材からなる光取出手段7を介することにより、所望粒子径を有する粒子による回折光を選択的に取り出す粒子検出方法であって、光取出手段7が可動可能であり、光取出手段7を可動せしめることにより検出しようとする所望粒子径の粒子の該所望粒子径が変更可能である。
請求項(抜粋):
粒子に光を照射して生じた回折光を同心円で囲まれる領域に光取出部が設けられた遮蔽部材からなる光取出手段を介することにより、所望粒子径を有する粒子による回折光を選択的に取り出す粒子検出方法であって、前記光取出手段が可動可能であり、該光取出手段を可動せしめることにより検出しようとする所望粒子径の粒子の該所望粒子径を変更可能であることを特徴とする粒子検出方法。
IPC (3件):
G01N 15/14
, G01N 21/35
, G01N 21/47
FI (3件):
G01N 15/14 K
, G01N 21/35 Z
, G01N 21/47 A
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