凸型パターンを有するスタンパーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-092993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302018
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】高精度の凸型パターン(本発明では、エッチングされる領域の幅がエッチングされない領域の幅よりも大きな形状を示す)を形成する。【構成】第1基板(1)表面にレジスト(2)を塗布する工程(第1工程)、レジスト(2)を所定パターンに露光する工程(第2工程)、現像することで所定パターンにパターニングし、レジスト原盤を製造する工程(第3工程)、パターニングされたレジスト(2)を保護層としてエッチングを行う工程(第4工程)、エッチングされた半製品に残存したレジストを除去する工程(第5工程)からなる凸型パターンを有するスタンパーの製造工程において、レジストにアルカリ性ネガ型フォトレジストを、現像液にアルカリ性の現像液を用いて凸型パターンを有するスタンパーを製造する。

請求項（抜粋）：

第1工程:第1基板表面にレジストを塗布する工程;第2工程:前記レジストに対して所定パターンを露光する工程;第3工程:前記レジストを現像することにより所定パターンにパターニングし、レジスト原盤を製造する工程;第4工程:パターニングされた前記レジストを保護層としてエッチングを行う工程;第5工程:エッチングされた半製品に残存した前記レジストを除去する工程;からなる凸型パターンを有するスタンパーの製造工程において、前記レジストがアルカリ可溶性ネガ型フォトレジストであり、現像に用いる現像液がアルカリ性の現像液であることを特徴とする凸型パターンを有するスタンパーの製造方法。

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