透明導電膜及び電界放出形表示素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268638
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【目的】耐還元性、透光性、導電性を有し、FEDの陽極導体として有用な透明導電膜を提供する。【構成】FED1の外囲器2は陰極基板3と陽極基板4からなる。陽極基板4の内面には、陽極導体5と蛍光体層6からなる陽極7がある。陽極導体5は、陽極基板4の内面に接しているITOの第1層8と、その上を被覆しているZnO:Alの第2層9からなる。ZnOは透光性と導電性を有し、酸化物として安定しているため還元性雰囲気下でも還元されにくい性質(耐還元性)をもつ。特にAlが適量添加されているので透光性と導電性に優れている。陰極基板3の内面には、電子源である陰極として、電界放出素子10が設けられている。還元されやすいITOを、耐還元性のZnO:Al薄膜の第2層9で被覆保護している。FEDの製造工程において外囲器内を還元性雰囲気にしても、陽極導体のITOが還元されてInが析出する等の不都合は生じない。

請求項（抜粋）：

気密容器の内面に形成され、ZnOを含むことを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , H01J 29/18 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01B 5/14 A , C23C 14/08 D , H01J 29/18 A , H01J 31/12 C

Fターム (20件)：

4K029AA09 , 4K029BA45 , 4K029BA49 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BB08 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 5C036AA10 , 5C036EE08 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG25 , 5C036EG36 , 5C036EH08 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC10

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