感放射線組成物およびパタン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356969
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174993
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】遠紫外光領域で透明、かつドライエッチング耐性も高い化学構造を持ち、水性アルカリ現像液で膨潤することなく微細パタンを現像できるネガ型感放射線組成物を提供する。【解決手段】化学式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体と、酸発生剤とを含有する(ここで、R<SP>1</SP>,R<SP>2</SP>は水素原子またはメチル基、x,yはそれぞれx+y=1,0<x≦1,0≦y<1を満たす任意の数、重合体の重量平均分子量は1,000〜500,000である)。【化1】

請求項（抜粋）：

少なくとも化学式(1)で示される繰り返し単位を有する重合体と、酸発生剤とを含有することを特徴とする感放射線組成物。【化1】ただし、上記化学式(1)において、R<SP>1</SP>,R<SP>2</SP>は水素原子またはメチル基であり、x,yはそれぞれx+y=1,0<x≦1,0≦y<1を満たす任意の数であり、重合体の重量平均分子量は1,000〜500,000とする。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 , C08L 33/06 , G03F 7/004 503 , G03F 7/027 502

FI (4件)：

G03F 7/038 505 , C08L 33/06 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/027 502

Fターム (21件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BF02 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J002BG071 , 4J002EV236 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002FD200 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J002HA05

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