特許
J-GLOBAL ID：200903094010902002
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168787
公開番号（公開出願番号）：特開平6-011609
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 低廉なうえ簡単で、グレーティングの周期精度とその均一性が良好であり、広い面積の露光やグレーティングピッチの調節も可能な露光装置を提供する。【構成】 レーザー光源1からのレーザー光はシャッター2で制御され、アッテネータ3で光量を調整され、ビーム拡大レンズ5、空間フィルター6、コリメーションレンズ7によりビーム径の拡大された平面波に変換される。この平面波はNDフィルター4a、パターニングマスク4bを経てその一部が減衰、遮光され、干渉プリズム9の入射面9Pに垂直入射し、出射面9S1、9S2から光線12A、12Bおよび12a、12bのごとく屈折して感光膜11上に入射する。感光膜11上では、光線12aは光線12Bと、光線12Aは光線12bと干渉し、境界線9Rと平行な直線の干渉縞を形成する。この干渉縞を用いて所定のグレーティングパターンを得る。
請求項（抜粋）：
レーザー光源と、前記レーザー光の光束面積を拡大する拡大手段と、拡大されたレーザー光を透過、屈折させるプリズムと、前記レーザー光の光軸にほぼ直交する平板上に形成された感光膜とからなり、前記プリズムは少なくとも一つの綾線をもち、前記稜線を境界としてレーザー光の波面分割を行なうとともに、前記稜線を挟む各屈折面での屈折光が互いに交差、干渉して空間上で形成される直線または曲線の周期的明暗縞により前記感光膜を露光することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
G02B 5/18
, G02B 27/00
, G03F 7/20 505
