コーティング用組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138460
公開番号（公開出願番号）：特開平6-346025
出願日： 1993年06月10日
公開日（公表日）： 1994年12月20日
要約：

【要約】【構成】加水分解性基含有シラン混合物を加水分解および縮合させることによって得られるシロキサンポリマーおよび膜硬化剤を含有するコーティング用組成物において、該シラン混合物として、2官能性シラン1モルに対して、3官能性シランを1〜20モル含有する混合物を用いることを特徴とするコーティング用組成物。【効果】本発明のコーティング用組成物は、耐クラック性に優れており、厚膜が必要な半導体装置のバッファコート、平坦化剤、あるいは液晶ディスプレーの保護膜などに好適に用いることができる。

請求項（抜粋）：

一般式(1) R2 SiR ́2で表される2官能性シラン1モルに対して、一般式(2) RSiR ́3で表される3官能性シランを1〜20モル含有するシラン混合物を加水分解および縮合させることによって得られるシロキサンポリマー、および膜硬化剤を含有することを特徴とするコーティング用組成物。(ただし、Rは水素、アルキル基、アリール基、アルケニル基、およびそれらの置換体を表わし、それぞれ、同一でも、異なっていても良い。R ́は加水分解性基を表わし、それぞれ、同一でも、異なっていても良い。)

IPC (5件)：

C09D183/04 PMS , G03F 7/075 511 , H01L 21/027 , H01L 21/312 , G02F 1/1333 505

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-186570
特開昭56-023444
特開昭60-199056

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