特許
J-GLOBAL ID：200903094020410671
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245348
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077436
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】高信頼性、長寿命の積層型圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】圧電体層13と内部電極層15とを交互に積層してなるアクチュエータ本体11と、該アクチュエータ本体11の側面に形成された外部電極17とを具備するとともに、アクチュエータ本体11の側面に露出した第1または第2内部電極層15a、bの端部間に、第1または第2内部電極層15a、b間に位置する第2または第1内部電極層15a、bの端部が底面に露出する凹溝19を形成し、該凹溝19に絶縁体21を充填してなり、凹溝19が圧電体層13の積層方向に平行な平坦状底面23を有しており、該平坦状底面23の積層方向における長さをL、内部電極層15の厚さをt<SB>1 </SB>、圧電体層13の厚みをt<SB>2 </SB>とした時、0.2≦(L-t<SB>1 </SB>)/t<SB>2 </SB><1を満足する。
請求項（抜粋）：
複数の圧電体層と複数の内部電極層とを交互に積層してなり、前記内部電極層が交互に第1内部電極層または第2内部電極層とされ、該第1内部電極層、第2内部電極層の端部がそれぞれ異なる側面に露出する多角柱状のアクチュエータ本体と、該アクチュエータ本体の第1または第2内部電極層の端部が露出した側面にそれぞれ形成された外部電極とを具備するとともに、前記アクチュエータ本体の側面に露出した第1または第2内部電極層の端部間に、該第1または第2内部電極層間に位置する第2または第1内部電極層の端部が底面に露出する凹溝を形成し、該凹溝に絶縁体を充填してなる積層型圧電アクチュエータにおいて、前記凹溝が前記圧電体層の積層方向に平行な平坦状底面を有しており、該平坦状底面の積層方向における長さをL、前記内部電極層の厚みをt<SB>1 </SB>、前記圧電体層の厚みをt<SB>2 </SB>とした時、0.2≦(L-t<SB>1 </SB>)/t<SB>2 </SB><1の関係を満足することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
FI (2件)：
H01L 41/08 S
, H01L 41/08 Q
