特許
J-GLOBAL ID：200903094024302253
単結晶材料における角速度を測定するための装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-526196
公開番号（公開出願番号）：特表平11-502614
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】シャーシのような基板の角速度を測定するための装置を開示する。この装置は、単結晶本体と、発振起動器と、発振検出器とを備える。主として、前記本体は、単結晶材料をエッチングすることにより、おそらく慣性質量を保持する少なくとも1つの中央ビームを画定するよう形成され、1つのフレームが同軸ねじれバーにより保持されることを特徴とする。前記ビームの表面は本体の結晶面により定められる。前記駆動器はビームおよびフレームの一方に対して起動し、前記検出器は前記ビームおよびフレームの他方の振動を検出する。
請求項（抜粋）：
シャーシのような基板の角速度を測定するための装置であって、単結晶本体と、発振起動器と、発振検出器とを備え、前記本体は、単結晶材料をエッチングすることにより、おそらく慣性質量を保持する少なくとも1つの中央ビームを画定するよう形成され、1つのフレームが同軸ねじれバーにより保持され、このフレームが前記ビームを保持し、このビームの表面が本体の結晶面により定められ、前記駆動器は前記ビームおよびフレームの一方に対して起動し、前記検出器は前記ビームおよびフレームの他方の振動を検出することを特徴とする装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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