特許

J-GLOBAL ID：200903094028815395

リフトピン案内装置

発明者： フィル ソルツマン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-366564
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247682
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハ処理システム内において、ペデスタル表面上でウェーハを昇降させるためのリフトピンを、正確に案内する改良リフトピン案内アセンブリを提供する。【解決手段】 案内ブシュと案内ピンによって案内されるリフトピンに関する。リフトピンは、中空で、案内ピンと滑動自在に係合されている。案内ピンは、ペデスタルに対して固定されており、ペデスタル内のリフトピン穴と同軸上に整列されている。アクチュエータは、リフトピンを案内ピンに沿って伸縮する。案内ブシュは、リフトピンと隣接して位置しており、同じく、ピンがリフトピン穴を貫通するようにリフトピンを案内する。

請求項（抜粋）：

被加工部材をペデスタル表面から持ち上げるための装置であって、案内ピンと、前記案内ピンによって滑動自在に係合され且つ案内されるリフトピンと、を備える装置。