特許

J-GLOBAL ID：200903094029468575

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 東宮 祥哲 ,  酒井 千秋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-235376
公開番号（公開出願番号）：特開2003-046074
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】集光効率を高めて感度を向上させつつ、安定した感度特性を得ることができる固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板11に形成され、遮光膜17で光入射領域が特定された受光部5を有する固体撮像装置であって、受光部5の光入射領域上に形成され、第1の屈折率をもち導光機能を有する透明膜21と、透明膜21の側壁を囲むように形成され、透明膜21の第1の屈折率よりも低い第2の屈折率をもつ平坦化膜22とを有する。

請求項（抜粋）：

基板に形成され、遮光膜で光入射領域が特定された受光部を有する固体撮像装置であって、前記受光部の前記光入射領域上に形成され、第1の屈折率をもち導光機能を有する光学的に透明な第1の膜と、前記第1の膜の側壁を囲むように形成され、前記第1の膜の前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率をもつ第2の膜とを有する固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D

Fターム (16件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD14 ,  5C024CY48 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GY01