特許

J-GLOBAL ID：200903094030103327

脱気装置及び脱気方法

発明者： 中本 直之 ,  中川 利幸
出願人/特許権者： 日本エア・リキード株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-079387
公開番号（公開出願番号）：特開2001-259306
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】【課題】 発生する気泡が処理液と共に排出されにくい脱気装置及び脱気方法を提供する。【解決手段】 被処理液中の溶存ガスを透過させる管状膜1を管状体2に内挿して、その管状膜1の外側に被処理液の流路3を形成しつつ、前記管状膜1の内側空間4を減圧状態にすると共に、前記管状体2の少なくとも一部を下流側が上流側より下方に位置するように配置して、発生した気泡が下流側へ流動するのを防止する気泡阻止部FPを設けてある脱気装置。

請求項（抜粋）：

被処理液中の溶存ガスを透過させる管状膜を管状体に内挿して、その管状膜の外側に被処理液の流路を形成しつつ、前記管状膜の内側空間を減圧状態にすると共に、前記管状体の少なくとも一部を下流側が上流側より下方に位置するように配置して、発生した気泡が下流側へ流動するのを防止する気泡阻止部を設けてある脱気装置。

IPC (4件)：

B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/448

FI (5件)：

B01D 19/00 H ,  B01D 19/00 D ,  B01D 19/00 101 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/448

Fターム (20件)：

4D011AA12 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D011AC04 ,  4D011AD03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030AA20 ,  4K030EA01 ,  4K030KA46 ,  5F045AA08 ,  5F045AC08 ,  5F045AC09 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC17 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04