電子銃を用いた蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-181814
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001376
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】電子銃を用いた蒸着装置において、蒸気圧の高い物質を蒸発源試料として用いた場合でも安定して蒸発を制御し膜厚の制御を可能とする。【構成】ルツボ1の開口部分に中央部に蒸発のための孔4aを有する高融点の金属器4を被せてある。高融点の金属器4には熱電対5が取りつけられ、温調計6は熱電対5の出力に基づいて設定されている温度になるように電子銃電源7の出力を制御する。電子銃の一部を構成するフィラメント3の電流は制御され、フィラメントから出る電子ビームは点線で示す軌跡を描いて金属器4の表面に衝突する。これによりルツボ1内の蒸気圧の高い試料に輻射熱が与えられ孔より試料が蒸発し、被蒸着物の膜厚が制御できる。

請求項（抜粋）：

電子銃のフィラメントから発生する熱電子を陽極に高圧を印加することによって加速して,その電子ビームのパワーを蒸発源試料に与えることにより前記蒸発源試料を加熱蒸発させて被蒸着対象物に蒸着膜を被着形成する蒸着装置において、前記電子ビームを前記蒸発源試料を入れた前記容器の表面に照射することにより容器表面が加熱され輻射熱および伝導熱を金属容器内の試料に与えて前記蒸発源試料を加熱するとともに前記容器の温度を測定する熱電対を設け、前記熱電対が測定した温度により前記電子銃電源の出力を制御することにより前記電子ビームのパワーを制御して前記容器の温度を所定の値に制御するように構成したことを特徴とする電子銃を用いた蒸着装置。

IPC (2件)：

C23C 14/54 , C23C 14/30

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭64-068470
特開昭59-107077

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