特許
J-GLOBAL ID:200903094031626730

表面電位測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-076399
公開番号(公開出願番号):特開平8-271562
出願日: 1995年03月31日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】被測定体の表面電位を高精度に測定できる表面電位測定装置を提供する。【構成】被測定体1から所定間隔を隔てた位置に該被測定体と電気的に独立した測定電極2を配設し、該測定電極により被測定体の表面電位を測定する表面電位測定装置であり、被測定体1と測定電極2との間の静電容量を変化させる容量変化手段と、被測定体1の表面電位に対応して誘起され静電容量の変化に伴い変化する測定電極2の電位を検出する電位検出手段4と、該検出信号から少なくとも2つ以上の出力信号を検知する出力検知手段6と、該出力信号から被測定体の表面電位を導き出す表面電位導出手段7とを備えた構成とした。【効果】被測定体と測定電極との間の静電容量を変化させ測定電極の電位検出信号から2つ以上の出力信号を検知する手段を設けたことにより、その出力信号から簡易な構成でかつ安価に正確な表面電位を導出することができる。
請求項(抜粋):
被測定体から所定間隔を隔てた位置に該被測定体と電気的に独立した測定電極を配設し、該測定電極により被測定体の表面電位を測定する表面電位測定装置であって、前記被測定体と測定電極との間の静電容量を変化させる容量変化手段と、被測定体の表面電位に対応して誘起され静電容量の変化に伴い変化する測定電極の電位を検出する電位検出手段と、該検出信号から少なくとも2つ以上の出力信号を検知する出力検知手段と、該出力信号から被測定体の表面電位を導き出す表面電位導出手段とを備えたことを特徴とする表面電位測定装置。
FI (2件):
G01R 29/12 A ,  G01R 29/12 D
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-305171

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