特許
J-GLOBAL ID：200903094035513183
電子線照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-314954
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159799
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】不活性ガスの使用量を少なくし、また照射した電子線を効率良くキャッチすることを目的とする。【解決手段】真空チャンバー1の内部に備えられている電子線発生源14から放出された電子線をキャッチするビームキャッチャー9の両端部に、被照射物5が搬送される方向に沿って凸部13を設ける。そして前記凸部13の上面と箔押さえフランジ4の下部を固定する。供給される不活性ガスは凸部13によって前記凸部方向の洩れが阻止されるので、窓箔3の冷却に必要な不活性ガスの量を少なくすることができる。被照射物5に照射した電子線を効率よくキャッチすることができる。
請求項（抜粋）：
電子線発生源を備えた真空チャンバーと、前記真空チャンバーの下部に取り付けられ、電子線の取り出し部である窓箔を取り付けるグリッドウィンドウと、前記窓箔を前記グリッドウィンドウに固定する箔押さえフランジと、不活性ガスを供給する不活性ガス供給配管と、前記不活性ガス供給配管から供給される不活性ガスを前記窓箔に吹き付けるためのノズルと、前記電子線発生源から前記窓箔を通過して放出された電子線をキャッチするビームキャッチャーを有する電子線照射装置において、被照射物が搬送される方向に沿って、前記ビームキャッチャーの両端に凸部を形成し、前記凸部の上端を、前記箔押さえフランジの下部に密着して固定してなる電子線照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/04 E
, H01J 37/30 Z
