特許
J-GLOBAL ID：200903094041363100
光学アラインメントねじのための圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-063309
公開番号（公開出願番号）：特開平8-251950
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】本発明は電気機械的アクチュエータを提供するものであり、一層詳細には、光学的素子に関連して位置決め用のシャフトを回転させるための圧電素子要素を用いたアクチュエータを提供する。【構成】圧電アクチュエータ50は、顎部材60、61を有する。圧電アクチュエータ50のフレームは、フランジ86によってベース板85に固定されている。圧電素子51に対する電気信号の極性が、素子51が伸張し、印加された電気信号の振幅が増加するようなものである場合、顎部材60、61の相対的な長手方向の動きが起こる。顎部と軸80との間のスリップがないとすると、軸80の回転が起こる。圧電素子51に対する電気信号の振幅が低減するにつれて、圧電素子51が収縮し、それぞれ反対の方向に顎部材60、61の長手方向の動きが起こる。軸80の慣性力のために、急速に立上るか下降する電気信号により、顎部と軸80との間のスリップが起こるような顎部材60、61の急速な動きが誘導される。
請求項（抜粋）：
二方向へと移動可能な可動ステージのための圧電アクチュエータであって、第1と第2の対向する面を有する固定されたフレーム素子と、第1と第2の端部部位を有する細長い圧電素子と、前記第2の端部部位に固定された駆動用パッドを含み、前記第1の面は前記圧電素子の第1の端部に対して当接し、前記駆動用パッドは保持手段と前記可動ステージに摩擦係合するための駆動部位を有し、前記第2の面と前記駆動用パッド保持手段との間に位置決めされ、前記駆動用パッドを前記可動ステージに対して付勢し、且つ前記第1の面に対して所定位置に前記圧電アクチュエータにバイアスをかけ且つ保持するためのバイアス手段を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 U
