特許
J-GLOBAL ID：200903094043049305
パルス引出型の電子サイクロトロン共振イオン源
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有近 紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291268
公開番号（公開出願番号）：特開平6-140196
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 イオンを効率よく取り出す。【構成】 パルス状引出電圧供給用高圧電源25からパルス状の引出電圧を引出電極5に供給し、イオン導出用電界を断続的に形成する。イオン導出用電界を形成しない期間では、プラズマチャンバ4内でイオンを生成し、そのイオンを導出せずに高濃度にする。イオン導出用電界を形成する期間では、前記高濃度にしたイオンを一気に外部に導出する。【効果】 無駄なイオンの導出をなくすと共にイオン電流を大きくすることが出来る。そこで、間欠的に大きなイオン電流を必要とする用途に好適である。
請求項（抜粋）：
永久磁石とソレノイドコイルとにより電子サイクロトロン共振条件を満たす磁場をプラズマチャンバ内に形成し,そのプラズマチャンバ内で生成されたイオンを引出電極により外部へ導出する電子サイクロトロン共振イオン源において、引出電極にパルス状の引出電圧を供給するパルス状引出電圧供給手段を具備し、プラズマチャンバ内で生成されたイオンを断続的に導出することを特徴とするパルス引出型の電子サイクロトロン共振イオン源。
IPC (3件)：
H05H 13/04
, H01J 27/18
, H05H 7/10
